从晶圆图像到工程建议：一次完整调查

先给一个工程目标

可以从一个工程问题开始：“对照当前晶圆与参考片，核查外圈集中线索。”任务需要同时明确数据对象、比较范围与工程背景。大幅晶圆图像是观察入口，Recipe、Components 和 Config 等工程条件是另一类输入。

这篇文章沿用官网的两轮合成演示，说明目标体验中的调查过程。它帮助读者理解 Agent 如何工作；正式操作步骤和支持范围，需要结合实际产品版本。

第一轮：观察分布，选择标准检查

下文的 A/B 是两片不同晶圆的合成报告示例，不能当作同一片晶圆在某工步前后的测量。不同晶圆的可比差异，与同片前后增量，应分别定义参考对象和检查方法。

Agent 打开主测片与参考片，核对坐标、单位与扫描范围，然后查看热力图。外圈集中是一条观察线索；下一步是把线索落实为可计算、可复核的问题。

第一轮优先沿用适用的标准检查，例如径向分区、分区计数、分母核查和结果归档。这些步骤可以由已有 Pipeline 执行；需要新增检查时，才编排补充分析。每个步骤保留输入对象、区域定义、方法与运行记录，方便结果返回后再次检查。

数字表达什么，要一起说明

这里的 64.58% 表示候选对象的数量占比。缺陷密度还需要相应区域的检视面积；良率影响与工步归因则需要各自的支持材料。数值、计算口径和边界应一起交付。

第二轮：按需补证，更新判断

结果返回后，Agent 将所选区域和候选对象定位回原图。空间上集中，是否也具有一致形貌？当前图像能支持什么分类，哪些判断还需要核查？结合新增观察、累计证据与专业规范，判断是否需要补充检查。继续调查、等待补证或结束，都是可能的下一步。

本例选择补充的图像与来源标准检查，继续核查形貌。它表示一种需要补证的分支，并非每次调查都要生成第二轮 Pipeline。若问题需要关联分析、回归或模型训练，应先核对数据条件与方法适用性；分析结果仍要回到原始材料中复核。

1. 图像与配置
2. 专业方法
3. Pipeline
4. 科学计算
5. 发现与边界
6. 工程建议

把发现转成下一轮验证

有用的建议需要指向工程行动，并带上支持依据。例如，后续数据若提示某个设备参数值得优先核查，交付应说明候选关联、仍需补充的材料，以及建议安排的验证范围。

当前合成演示支持外圈分布的计数描述和继续核查形貌的方向，尚不能确认哪台设备或哪项参数导致异常。设备归因需要相应的前后工步、履历或配置证据；参数调整由 PE 与 PIE 结合工程验证决定。

开始讨论前，准备这些材料

• 主测片、参考片及其数据来源。
• 扫描坐标、单位、范围与可比条件。
• 相关原图、缺陷或候选对象记录。
• 与问题有关的设备、工步、Recipe 和配置版本。
• 这轮最想核查的问题，以及已有判断的依据。

这些材料帮助团队确认调查能走到哪里，也让下一步分析与验证更加具体。