先读这一句WaferPilot 的目标,是把工程师的调查方法、Agent 的判断能力和实际分析工具连接起来,交付可复核的工程建议与完整调查过程。
平台
图像、调查、计算、报告与证据协同工作的产品
专业方法
经评审的检查框架与判断要求
调查上下文
本次目标、数据、选择、结果与未解决事项
工程交付
报告、建议、依据与下一步验证目标

本文介绍公开的架构原则与产品设计目标。当前已验证演示与后续验证范围,统一说明在 演示与能力说明。

工程师需要推进一项调查,而不只是得到一句回答

面对一片异常晶圆,工程师需要先看清现象,再确认参考对象、连接加工经历、选择分析方法、核查结果,最后决定该查哪里、怎样验证。一个流畅的回答只覆盖其中一小部分;真正有用的产品还要接住数据、执行和复核。

WaferPilot 聚焦 Fab 工程诊断与验证:从图像与已有分析出发,结合获准的量测、Recipe、设备条件与加工记录,辅助 EE、PE、PIE 推进调查。交付目标包括确认的现象、候选原因、工程建议,以及支撑这些建议的分析经过。

示意案例 · 不预设具体设备根因

同样是“边缘检出增加”,工程师可能需要先确认检测口径是否改变,再比较正常与异常材料,之后才判断是否应核查某一工步或腔室。平台应帮助组织这些工作,并说明哪些问题已经回答、哪些还缺证据。

平台全景:专业方法、Agent、工具与工作台

平台的各部分围绕同一调查协作。专业方法提供方向,Agent 结合当前事实判断,分析工具完成计算,工作台让工程师查看过程并复核交付。下面展示的是职责与协作关系;具体执行仍遵循方案与授权。

平台设计示意。图中的计算工具代表与 Agent 协作的执行能力,实际可用范围以任务、接入工具和已验证环境为准。
组成部分负责什么工程师能看到什么
专业方法保存适用条件、检查选择与证据要求为什么需要这样调查,方法适用于哪些情况
专业 Agent理解目标,比较解释和方法,准备下一步选择理由、替代方案、限制与待确认事项
科学计算与工具完成获准的数据核查、统计分析或建模实际输入、参数、版本、运行记录与结果
专业工作台连接图像观察、方案审阅、执行与报告完整调查上下文,以及返回原始依据的路径

把经验放进调查方法,而不是只留在个人记忆里

有价值的经验包含“怎样查”:什么先确认、哪些比较不成立、何时需要补证、什么结果只能支持候选解释。它可以来自工艺规范、设备资料、标准分析方法、现场说明和历史案例,不必先拥有完整事故库。

这些材料经过整理与专家审核,形成带适用范围、负责人和版本的专业方法资产。模型可以帮助提取候选方法;专家负责确认它是否表达了合理的工程要求。

方法资产与本次事实分开保存。例如,“比较腔室前核对产品与加工条件”是可复用的方法;“这批材料来自某一腔室”是当前案例的事实。区分两者,才能让经验复用而不把旧结论硬套到新数据。

关于方法的提取与检验,继续阅读 经验资产的五个维度 与 从案例到专业方法。

让专业方法引导,让模型承担有价值的判断

专业方法明确应考虑的问题、证据要求和可用能力;模型结合本次上下文比较分析方案、解释观察、处理重要参数与权衡。任务中的合理方法选择,可以由 Agent 在受托范围内完成,工程师不必替它操作每一个技术细节。

新的结果也可能让它改变方向:继续检查另一种解释、提出补证需求,或者认为当前目标已经达到。模型的知识和推理能力在这里用于理解具体问题;影响结论的重要事实与数值仍需要来源与计算支持。

当目标不明确、关键业务事实只有工程师知道,或下一步需要额外权限时,平台应把问题清楚交回工程师。自主推进与人工控制通过任务范围和责任分工衔接。

ImageLens、Notebook 与报告,解决不同阶段的需要

ImageLens 承载图像观察:工程师查看晶圆、区域、对照与已有分析,Agent 的关注点也应与这些对象建立联系。Notebook 承载实际工作:查看方案、分析执行与结果,核查一个结论具体来自哪次计算。报告承载工程交付:说明当前判断、建议、限制和验证目标。

端到端的体验要求这些界面共享调查身份与上下文。切换到分析界面时,已选择的图像、参考、数据版本和问题应随之进入;回看建议时,应能返回对应的图像与结果。

这也是行业工作台的意义:大幅图像、局部位置、分析尺度和工程记录会影响问题的含义。把它们留在可观察、可解释的界面里,工程师才能判断 Agent 是否真正处理了当前案例。

交付建议,也交付它是怎样得到的

工程交付应明确回答:发现了什么、目前能定位到哪一层、哪些解释有支持、哪些仍未排除、下一步怎样验证。证据充分时,可以提出具体检查或调整建议;证据不足时,应交付补证需求与有目标的验证计划。

报告同时保留分析对象、参考条件、方法选择、关键参数、执行结果和判断理由。工程师既能读取结论,也能逐层追查依据、修正错误假设并继续调查。

白盒在这里意味着工程决策与证据路径可检查。它提供复核和纠错的条件;方法的适用性、数据质量与结果有效性仍需检验。

让方法与能力分别演进

专业方法与共用运行框架分离,使平台可以围绕新任务接入相应的方法与工具。不同调查需要不同的专业知识,但都可能共享数据绑定、方案审阅、执行记录、证据返回和报告组织。

例如,晶圆缺陷调查关注检测条件、分布和加工经历;模型退化调查关注评价集、标签、输入变化与模型版本。两者能复用部分调查与复核机制,但专业方法、输入结构和验收标准需要分别设计。自动训练与部署也要有对应能力和授权。

这种可扩展性是架构原则。每进入一个新领域或新任务,仍需要方法审核、工具接入与实际验证;跨领域能力的价值,应由完成的任务与可复查结果证明。

怎样继续阅读这个系列

想了解技术机制,先读 Agent 架构;想理解经验如何成为资产,接着读 经验的五个维度 与 案例到方法;关心可靠性,读 白盒依据;关心用户体验,读 完整工作台。

部署与集成已有独立说明:留在客户环境内,怎样部署与协作。当前演示及后续验证范围集中说明在 当前演示与能力范围,便于区分架构目标、交互示意与已验证交付。